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Capteurs optiques

Démarré par redKas, Décembre 12, 2018, 04:22:42 PM

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redKas

Capteurs optiques

Les Microsystèmes Opto-Electro-Mécaniques (MOEMS) sont des systèmes de la taille du micron qui comprennent à la fois des micro-capteurs (incluant éventuellement des fonctions optiques) et des microactionneurs. Ils ont donc à la fois la possibilité de percevoir l'état du système et de son environnement, et de réagir à des modifications de cet environnement, à l'aide d'un micro-circuit de contrôle. Ces systèmes peuvent
comprendre en plus de la microélectronique conventionnelle, des structures intégrant des mécanismes, des antennes pour l'échange d'information, des éléments optiques et parfois des systèmes de commande, des microsystèmes de puissance, des micro-relais, des microsystèmes de traitement du signal, des sources
lumineuses et des détecteurs. Les MOEMS ou encore : « Optical- MEMS » (et les MEMS dont ils sont issus) comprennent donc des mécanismes mis en mouvement de façon contrôlable. Il s'agit alors de microsystèmes dont les applications et les composants relèvent essentiellement du domaine de l'optique ou de la photonique avec des exemples de réalisations bien connues : miroirs, commutateurs, connecteurs, modulateurs optiques, multiplexeurs-démultiplexeurs en longueure d'onde, ... pour
tendre vers des capteurs intelligents (smart sensors) et des actionneurs dotés de caractéristiques supplémentaires comme l'auto-test ou l'autocalibration.
L'objectif de ce cours est donc une introduction à l'origine et aux principales caractéristiques des microsystèmes optiques. Les principales technologies de fabrication seront aussi présentées.

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Re : message iportant de l'auteur
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